Поиск

РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп

РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп

РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов. Занесен в Госреестр Украины и Российской Федерации как средство измерения.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр Значение
Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), nm 4
Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), nm 6
Максимальный размер изображения, pixels 1280×960
Диапазон регулирования давления в камере, Pa 1 — 270
Диапазон ускоряющих напряжений, kV 0,5 — 30
Диапазон регулирования увеличений, × 15 — 300000
Максимальный размер объекта, mm 50
Диапазон перемещений объекта:
• по координатам X, Y, mm
• по координате Z, mm
• наклон, °
• поворот, °

±25
50
-20÷60
360
Время смены образца, min 5
Диапазон измерений линейных размеров, µm 0,2 — 5000
Пределы допускаемой основной погрешности измерений
линейных размеров, не более:
• в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, nm
• в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, %


±40
±4
Диапазон анализируемых элементов:
• в режиме высокого вакуума
• в режиме низкого вакуума

5B - 92U
12Mg - 92U
Разрешение ЭДС, eV 139
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
массовой доли элемента в диапазоне от 6С до 92U
в составе массивных образцов, не более:
• для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, %
• для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, %
• для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, %



±4
±20
±50
Напряжение питания (1 фаза), V
частота, Hz
220
50/60
Потребляемая мощность, kVА 2,5
Габаритные размеры (колонна со стендом), mm, не более:
 • длина
 • ширина
 • высота

1050
2100
1850
Масса, kg, не более 685
Опубликовано: 14 Апреля, 2009  15:55 Просмотров: 1782 Печать