РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов. Занесен в Госреестр Украины и Российской Федерации как средство измерения.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр	Значение
Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), nm	4
Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), nm	6
Максимальный размер изображения, pixels	1280×960
Диапазон регулирования давления в камере, Pa	1 — 270
Диапазон ускоряющих напряжений, kV	0,5 — 30
Диапазон регулирования увеличений, ×	15 — 300000
Максимальный размер объекта, mm	50
Диапазон перемещений объекта: • по координатам X, Y, mm • по координате Z, mm • наклон, ° • поворот, °	±25 50 -20÷60 360
Время смены образца, min	5
Диапазон измерений линейных размеров, µm	0,2 — 5000
Пределы допускаемой основной погрешности измерений линейных размеров, не более: • в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, nm • в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, %	±40 ±4
Диапазон анализируемых элементов: • в режиме высокого вакуума • в режиме низкого вакуума	5B - 92U 12Mg - 92U
Разрешение ЭДС, eV	139
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элемента в диапазоне от 6С до 92U в составе массивных образцов, не более: • для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, % • для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, % • для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, %	±4 ±20 ±50
Напряжение питания (1 фаза), V частота, Hz	220 50/60
Потребляемая мощность, kVА	2,5
Габаритные размеры (колонна со стендом), mm, не более:  • длина  • ширина  • высота	1050 2100 1850
Масса, kg, не более	685