Поиск

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
• с диффузионным насосом и азотной ловушкой
• с турбомолекулярным насосом

2×10-4
6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm 40
Блок питания DC магнетрона:
• напряжение, V
• ток, mA

1100
300
Блок питания высоковольтный:
• напряжение, kV
• ток, mA

7
50
Блок термического испарения:
• первый испаритель, ток, A
• второй испаритель, ток, A

200
100
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm 300×300
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
• стойка аналитическая
• стойка электрическая

620×630×1600
620×630×1400
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5
Опубликовано: 14 Апреля, 2009  16:01 Просмотров: 2218 Печать