Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa: • с диффузионным насосом и азотной ловушкой • с турбомолекулярным насосом	2×10-4 6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm	40
Блок питания DC магнетрона: • напряжение, V • ток, mA	1100 300
Блок питания высоковольтный: • напряжение, kV • ток, mA	7 50
Блок термического испарения: • первый испаритель, ток, A • второй испаритель, ток, A	200 100
Температура нагрева подложки, °C	350
Скорость вращения подложки, rpm	5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа	одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm	300×300
Масса прибора, kg, не более	380
Габаритные размеры, mm • стойка аналитическая • стойка электрическая	620×630×1600 620×630×1400
Электрическое питание, V	380 / 220
Потребляемая мощность, kVA	4,5