Поиск

Пост вакуумный универсальный ВУП-7

Пост вакуумный универсальный ВУП-7

Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
• с диффузионным насосом и азотной ловушкой
• с турбомолекулярным насосом

2×10-4
6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm 52
Блок питания DC:
• напряжение, V
• ток, mA

1000
500
Блок питания RF:
• частота, MHz
• мощность, W

13,56
500
Блок питания ЭЛИ:
• напряжение, kV
• ток, mA
• ток накала, A

4
200
20
Блок термического испарения:
• ток, A

200
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема, mm 400×400×400
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
• стойка аналитическая
• стойка электрическая

690×610×1620
635×610×1150
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5
Опубликовано: 14 Апреля, 2009  16:03 Просмотров: 2236 Печать