Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa: • с диффузионным насосом и азотной ловушкой • с турбомолекулярным насосом	2×10-4 6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm	52
Блок питания DC: • напряжение, V • ток, mA	1000 500
Блок питания RF: • частота, MHz • мощность, W	13,56 500
Блок питания ЭЛИ: • напряжение, kV • ток, mA • ток накала, A	4 200 20
Блок термического испарения: • ток, A	200
Температура нагрева подложки, °C	350
Скорость вращения подложки, rpm	5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа	одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема, mm	400×400×400
Масса прибора, kg, не более	380
Габаритные размеры, mm • стойка аналитическая • стойка электрическая	690×610×1620 635×610×1150
Электрическое питание, V	380 / 220
Потребляемая мощность, kVA	4,5